塗佈技術 |
塗佈是一個將液體到沉積至固體基底上的過程。在此研究中,我們已經建立了三種新型塗佈技術: |
1. 毛細管塗佈 |
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毛細管塗佈機可以被看作是一個套筒在微觀尺度,和已實現任意的圖案與線寬度小至10微米。 |
2. 氣泡塗佈 |
氣泡塗佈引入微泡的塗佈器內,以分離液體成段,然後產生的液體補間與設計線路長度和線間距在基底上。 |
3. 矽晶圓狹縫式塗佈 |
矽晶片狹縫式塗佈器係從標準的MEMS方法製成。塗佈器受益於矽晶片的超低表面粗糙度和高精度的蝕刻,在常規塗佈器製造過程的拋光就可以完全忽略,降低了製造一塗佈模具所需之時間和成本,使得客製化塗佈制模具有機會實現。 |