塗佈技術





塗佈是一個將液體到沉積至固體基底上的過程。在此研究中,我們已經建立了三種新型塗佈技術:

1. 毛細管塗佈
毛細管塗佈機可以被看作是一個套筒在微觀尺度,和已實現任意的圖案與線寬度小至10微米。

2. 氣泡塗佈
氣泡塗佈引入微泡的塗佈器內,以分離液體成段,然後產生的液體補間與設計線路長度和線間距在基底上。

3. 矽晶圓狹縫式塗佈
矽晶片狹縫式塗佈器係從標準的MEMS方法製成。塗佈器受益於矽晶片的超低表面粗糙度和高精度的蝕刻,在常規塗佈器製造過程的拋光就可以完全忽略,降低了製造一塗佈模具所需之時間和成本,使得客製化塗佈制模具有機會實現。
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